表面声波元件用的基板

摘要

一种表面声波元件用的基板，为一具有高排向压电层之层状基板，特征在于该基板中的钻石层和压电层间形成一用以提升压电层之附着性及平坦性的缓冲体。依据本发明所制得之基板可适用于制作超高速表面声波元件。