基板之处理装置及处理方法

摘要

本发明系提供一种不仅缩小设置空间，亦可在相同处进行基板之供给与输出的处理装置。该处理装置包含有：装置本体；运送滚子，系设于装置本体上，且以预定角度倾斜地运送基板者；处理部，系用以处理由运送滚子所运送之基板者；上部运送部，系设于装置本体上部，且以水平状态运送于与倾斜运送之运送方向相反的方向上者；及倾斜传递装置，系至少设于装置本体之其中一端，且在接收到由上部运送部水平地运送而来之基板时，使基板下降并同时以预定角度倾斜基板再传递至运送滚子者。