混合型电浆反应器

摘要

兹提供一种混合型电浆反应器，其包括一感应耦合电浆(ICP)源装置及一偏射频(RF)电源装置。ICP源装置包括一腔室、一天线线圈单元、及一电源装置。该腔室包括一顶部开放之腔体，及一覆盖腔体开放顶部之介电窗。天线线圈单元系置于介电窗外侧。电源装置对天线线圈单元供给一源功率。该偏射频电源装置对安装于腔室内的阴极供给一偏射频功率。阴极顶部装设一目标晶圆。