发明名称 APARATO PARA LA PRODUCCION DE NANOPARTICULAS MEDIANTE LA VAPORIZACION DE MATERIALES SOLIDOS.
摘要 REIVINDICACIONES 1. Un aparato para la producción de nanopartículas por medio de la vaporización de materiales sólidos, que comprende: - al menos una primer cámara (14), al menos una bomba de vacío (15) conectada con dicha primera cámara (14), un cuerpo (2) insertado en dicha primera cámara (14), una cavidad (3) formada en dicho cuerpo (2), sistemas (7, 9, 13) para alimentar un flujo de gas (8) a dicha cavidad (3), electrodos que comprenden al menos un ánodo (4) y al menos un cátodo (5) al menos parcialmente insertado en dicha cavidad (3), dicho cátodo (5) que consiste en material que ha de ser vaporizado, una fuente de alimentación (6) para aplicar un voltaje entre dicho ánodo (4) y dicho cátodo (5) y para generar un descarga eléctrica entre ellos, y una boquilla (11) que comunica con dicha cavidad (3) y que está adaptada para transmitir un rayo (12) de partículas que consisten en materia vaporizada de dicho cátodo (5), dicho cátodo (5) está orientado hacia dicho flujo de aire (8) para interceptar dicho flujo (8), y dicho ánodo (4) y dicho cátodo (5) están posicionados para permitir la propagación de dicha descarga eléctrica (8) y la ionización de dicho gas, - caracterizado porque dichos electrodos tienen una distancia mutua que es menor que el recorrido libre medio de los iones de dicho flujo de gas (8) y dichos electrodos, por medio de los cuales dicha descarga eléctrica es producida fuera del espacio existente entre dichos electrodos y cierres entre dicho ánodo (4) y la zona de dicho cátodo (5) que choca con dicho flujo de gas (8).
申请公布号 ES2282065(T3) 申请公布日期 2007.10.16
申请号 ES20000103783T 申请日期 2000.02.23
申请人 ISTITUTO NAZIONALE PER LA FISICA DELLA MATERIA 发明人 MILANI, PAOLO;PISERI, PAOLO GIUSEPPE CARLO;BARBORINI, EMANUELE
分类号 C23C14/34;B22F9/14;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利