发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITER ANORDNUNG DURCH EIN PLASMAÄTZVERFAHREN |
摘要 |
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申请公布号 |
AT375005(T) |
申请公布日期 |
2007.10.15 |
申请号 |
AT20030774103T |
申请日期 |
2003.11.20 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD |
发明人 |
ARITA, KIYOSHI |
分类号 |
H01L21/78;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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