VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG VON PHYSIKALISCHEN EIGENSCHAFTEN EINER OPTISCHEN SCHICHT ODER EINES SCHICHTSYSTEMS,申请号AT20040021243T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG VON PHYSIKALISCHEN EIGENSCHAFTEN EINER OPTISCHEN SCHICHT ODER EINES SCHICHTSYSTEMS
摘要
申请公布号	AT374924(T)	申请公布日期	2007.10.15
申请号	AT20040021243T	申请日期	2004.09.07
申请人	APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG	发明人	LOTZ, HANS-GEORG;SCHROEDER, JUERGEN
分类号	G01B11/06	主分类号	G01B11/06
代理机构		代理人
主权项
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