KONTROLLIERTES ENTLÜFTUNGSSYSTEM FÜR ULTRAHOCHREINES ZUFUHRSYSTEM FÜR VERFLÜSSIGTE DRUCKGASE,申请号AT19990116133T-传众专利搜索

发明名称	KONTROLLIERTES ENTLÜFTUNGSSYSTEM FÜR ULTRAHOCHREINES ZUFUHRSYSTEM FÜR VERFLÜSSIGTE DRUCKGASE
摘要
申请公布号	AT375477(T)	申请公布日期	2007.10.15
申请号	AT19990116133T	申请日期	1999.08.19
申请人	AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.	发明人	CHOWDHURY, NASER MAHMUD;IRVEN, JOHN;ZHENG, DAO-HONG;CHANDRA, SUKLA;COULL, KENNETH;TAEGE, REINER REINHARD WILHELM
分类号	F17C6/00;F17C9/02;B01D5/00;B01D19/00;C23C16/44;F17C7/00;F17C7/04;F17C9/00;F17C13/02;F17C13/04;H01L21/205	主分类号	F17C6/00
代理机构		代理人
主权项
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