VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ASYMMETRISCHEN NICHTFLÜCHTIGEN SPEICHERZELLE, DEREN FLOATING- GATE MIT EINER SCHARFEN KANTE DURCH KLEINE, IN- SITU DOTIERTE POLYSILIZIUM-SPACER VERSEHEN IST,申请号AT20030368081T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ASYMMETRISCHEN NICHTFLÜCHTIGEN SPEICHERZELLE, DEREN FLOATING- GATE MIT EINER SCHARFEN KANTE DURCH KLEINE, IN- SITU DOTIERTE POLYSILIZIUM-SPACER VERSEHEN IST
摘要
申请公布号	AT375007(T)	申请公布日期	2007.10.15
申请号	AT20030368081T	申请日期	2003.08.20
申请人	CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PTE LTD.	发明人	CHEW, HOE ANG;ENG, HUA LIM;CHER LIANG CHA, RANDALL;ZHENG, JIA ZHEN;QUEK, ELGIN;ZHOU, MEI SHENG;YEN, DANIEL
分类号	H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/788;H01L29/792	主分类号	H01L21/8247
代理机构		代理人
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