| 发明名称 |
APPARAT UND METHODE ZUR ABTRENNUNG EINER HALBLEITERSCHEIBE VON EINEM TRÄGER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT375003(T) |
申请公布日期 |
2007.10.15 |
| 申请号 |
AT20040021396T |
申请日期 |
2004.09.09 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORPORATION |
发明人 |
MIYAMOTO, SABURO;HASE, YUKITOSHI |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/60;H01L21/677;H01L21/683 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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