发明名称 Prövning af tætheden af pladevedhæftningsforbindelser og teststruktur til gennemförelse af fremgangsmåden
摘要
申请公布号 DK1723402(T3) 申请公布日期 2007.10.15
申请号 DK20050729617T 申请日期 2005.03.05
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 KUMST, RONALD
分类号 G01M3/28;B81C99/00;H01L21/66 主分类号 G01M3/28
代理机构 代理人
主权项
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