发明名称 APPARATUS FOR DRY TREATING SUBSTRATES AND METHOD OF DRY TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100767001(B1) 申请公布日期 2007.10.12
申请号 KR20060043778 申请日期 2006.05.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址