PROTECTION DE CAVITES DEBOUCHANT SUR UNE FACE D'UN ELEMENT MICROSTRUCTURE

摘要

L'invention concerne un procédé de protection de l'intérieur d'au moins une cavité (4) présentant une partie d'intérêt (5) et débouchant sur une face d'un élément microstructuré (1), consistant à déposer sur ladite face une couche non conforme (6) d'un matériau de protection, ladite couche non-conforme bouchant la cavité sans recouvrir la partie d'intérêt.L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif comportant un tel élément microstructuré.