| 主权项 |
1.一种位移测量装置,包括: 一光源; 一聚光透镜,透过使从该光源射出的光聚光于被测 量物上而将聚光的位置作为测量点而照射; 一受光透镜,接收来自上述被测量物的以上述测量 点对称地进行正反射的光;以及 一受光元件,接收在该受光透镜聚光的光, 该位移测量装置根据上述受光元件的受光面上的 受光位置,检测上述测量点上的上述被测量物的位 移,其特征在于: 由上述受光透镜与上述受光元件形成受光部,且以 上述测量点为中心包括多个上述受光部。 2.如申请专利范围第1项所述之位移测量装置,其特 征在于: 在上述多个受光部中,上述测量点与上述受光透镜 的距离全部为大致相同,进而上述受光透镜与上述 受光元件的距离全部为大致相同。 3.一种位移测量装置,包括: 一光源; 一聚光透镜,透过使从该光源射出的光聚光于被测 量物上而将聚光的位置作为测量点而照射; 一受光透镜,接收来自上述被测量物的以上述测量 点对称地进行正反射的光;以及 一受光元件,接收在该受光透镜聚光的光,且透过 上述光源、上述聚光透镜、上述受光透镜、以及 上述受光元件相对于上述被测量物移动,使上述测 量点扫瞄上述被测量物, 该位移测量装置根据上述受光元件的受光面上的 受光位置,检测上述测量点上的上述被测量物的位 移,其特征在于: 以即使将沿着上述被测量物的上述扫瞄方向的剖 面上的两侧倾斜面以及其中间的顶部的任一个作 为测量点也可接收光的方式,将由上述受光透镜与 上述受光元件形成的多个受光部以上述测量点为 中心而排列。 4.一种位移测量装置,包括一光位移感测器, 该光位移感测器包括: 一投光部,利用使光在被测量物上聚光而将聚光的 位置作为测量点而照射;以及 一受光部,用以接收从上述测量点进行正反射的反 射光, 该位移测量装置透过在与包括上述所照明的光并 与上述被测量物大致垂直的平面正交的方向上,使 上述光位移感测器相对地移动而扫瞄,并测量上述 被测量物的位移,其特征在于: 上述光位移感测器包括多个上述受光部,该多个受 光部在与上述平面交叉的方向上,以上述测量点为 轴大致排列为扇形,且各上述受光部的受光面所占 据的可从上述测量点接收光的受光范围,在位移测 量方面,以邻接的受光部的受光面彼此相连续的方 式而配置。 5.如申请专利范围第4项所述之位移测量装置,其特 征在于:上述多个受光部,在与上述平面交叉的点 设置1个,并在其两侧对称地排列相同数量。 6.如申请专利范围第4项或第5项所述之位移测量装 置,其特征在于: 上述投光部包括:一光源;以及一聚光透镜,透过使 从该光源射出的光聚光于被测量物上而将聚光的 位置作为测量点而照射, 上述多个受光部包括:一受光透镜功能元件,接收 从上述测量点进行正反射的光并聚光;以及一受光 元件,接收在该受光透镜功能元件聚光的光, 且上述受光部的受光面是上述受光透镜功能元件 的受光面。 7.如申请专利范围第6项所述之位移测量装置,其特 征在于: 从上述多个受光透镜功能元件到该上述所聚光的 位置的距离为大致相同,且上述各受光透镜功能元 件配置成到上述测量点的距离大致相同,且以邻接 的受光透镜功能元件的受光面相连接的方式配置 在附近。 8.如申请专利范围第6项所述之位移测量装置,其特 征在于: 上述各受光透镜功能元件包括: 一准直透镜,接收从上述测量点进行正反射的光并 使其变为平行光;以及 一受光用聚光透镜,将来自该准直透镜的平行光聚 光到上述对应的受光元件, 且上述受光部的受光面是上述准直透镜的受光面, 且邻接的准直透镜的受光面相对于上述测量点所 占据的受光范围,在位移测量方面以相连续的方式 而配置,并且各受光透镜功能元件中,上述测量点 与上述准直透镜间的距离和上述受光用聚光透镜 与上述受光元件间的距离的比为大致相同。 9.如申请专利范围第4项或第5项所述之位移测量装 置,其特征在于:上述光位移感测器包括2个,且各个 上述扫瞄配置为可以向不同方向扫瞄。 10.一种形状检查装置,包括: 一光位移感测器,包括:一投光部,利用使光在被测 量物上聚光而将聚光的位置作为测量点而照射;以 及一受光部,用以接收从上述测量点进行正反射的 反射光; 一位移测量部,透过在与包括上述所照明的光并与 上述被测量物大致垂直的平面正交的方向上,使上 述光位移感测器相对地移动而扫瞄,并根据上述光 感测器的输出测量上述被测量物的位移;以及 一检查部,接收位移测量部的输出并判断该被测量 物的形状是否合格,其特征在于: 上述光位移感测器包括多个上述受光部,该多个受 光部在与上述平面交叉的方向上,以上述测量点为 轴大致排列为扇形,且各上述受光部的受光面所占 据的可从上述测量点接收光的受光范围,在位移测 量方面,以邻接的受光部的受光面彼此相连续的方 式而配置。 11.如申请专利范围第10项所述之形状检查装置,其 特征在于:上述光位移感测器包括2个,且各个上述 扫瞄配置为可以向不同方向扫瞄。 图式简单说明: 图1(A)、图1(B)是用以说明本发明的光位移感测器 的实施形态的示意构成图。 图2是大致从箭头A的方向观察图1(A)的构成的示意 图。 图3是用以说明包括作为受光元件的PSD以及受光透 镜(功能元件)的受光部的图,且是用以说明多个受 光部为相同构成时的图。 图4是用以说明改变多个受光部的受光透镜功能元 件时的示例图。 图5(A)、图5(B)是用以说明多个受光部中的受光透 镜功能元件以及受光元件PSD不同时的示例图。 图6是表示本发明的位移测量装置的实施形态的功 能构成的图。 图7是表示使用图6的实施形态的形状检查装置的 实施形态的功能构成的图。 图8是表示位移测量结果的示例图。 图9是用以说明受光透镜的受光范围的连续性的图 。 图10(A)、10(B)、10(C)是表示包括2个光位移感测器的 构成例的图。 图11是用以说明照相机位置的图。 图12(A)、12(B)是用以说明先行技术的图。 |
