发明名称 感光性树脂组成物及耐热性树脂膜之制法
摘要 本发明提供一种含有(a)具有特定构造之树脂、与(b)感光剂、及(c)在大气压力下之沸点为100℃以上而在140℃以下之有机溶剂,而且(c)成分之含有量对于有机溶剂总量计为50重量%以上而在100重量%以下之感光性树脂组成物,以及使用它来制造耐热性树脂膜之方法。依照本发明,则可以提供一种难以产生转印痕迹或拉出线条等缺陷之感光性树脂组成物。
申请公布号 TWI288296 申请公布日期 2007.10.11
申请号 TW092114325 申请日期 2003.05.28
申请人 东丽股份有限公司 发明人 三好一登;奥田良治;富川真佐夫
分类号 G03F7/037(2006.01) 主分类号 G03F7/037(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;何秋远 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 1.一种感光性树脂组成物,其系含有(a)具有以通式( 1)所代表的构造之树脂、与(b)感光剂、及(c)在大 气压力下之沸点为100℃以上而在140℃以下之有机 溶剂,而且(c)成分之含有量对于有机溶剂总量计为 50重量%以上而在100重量%以下, (式中,R1为具有2个以上之碳原子的2价至8价之有机 基,R2为具有2个以上之碳原子的2价至6价之有机基, R3和R4可为相同或相异也可以,系表示氢原子或碳 数为1至20之有机基;n系在5至100000之范围,p及q分别 是在0至4之范围,而r和s分别是在0至2之范围,并且p+ q>0)。 2.如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其中 (a)成分系从具有以通式(2)至(5)所代表的构造之树 脂中所选出之1种以上的树脂, (式中,R1为具有2个以上之碳原子的2价至8价之有机 基,R2为具有2个以上之碳原子的2价至6价之有机基, R3和R4可为相同或相异也可以,系表示氢原子或碳 数为1至20之有机基,R5为2价之有机基,X和Y分别表示 具有从羧基、苯酚性羟基、磺醯基、硫醇基、含 有1个以上之不饱和烃基的碳数为1至10之烃基、硝 基、羟甲基、酯基、羟烯基中所选出的一个以上 之取代基的有机基;n系在5至100000之范围,m系在0至 10之范围,p及q分别是在0至4之范围,r和s分别是在0 至2之范围,p+q>0)。 3.如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其中 (b)成分为苯辊二叠氮化合物。 4.如申请专利范围第1项之之感光性树脂组成物,其 中(c)成分相对于有机溶剂总量计系在70重量%以上 而在100重量%以下。 5.一种耐热性树脂膜之制造方法,其系包括将如申 请专利范围第1项之感光性树脂组成物涂布在基板 上使形成感光性树脂膜之步骤,乾燥该感光性树脂 膜之步骤,使感光性树脂膜曝光之步骤,使经曝光 的感光性树脂膜显像之步骤,以及加热处理之步骤 。 6.如申请专利范围第5项之耐热性树脂膜之制造方 法,其中感光性树脂组成物之涂布系使用细缝模具 涂布法来进行。 7.如申请专利范围第5项之耐热性树脂膜之制造方 法,其中感光性树脂膜之显像系使用硷性显像液来 进行。 8.一种有机电场发光装置之制造方法,其系至少包 括将如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物涂 布在已形成第一电极之基板上使形成感光性树脂 膜之步骤,将该感光性树脂膜予以乾燥、曝光、显 像及加热处理使形成绝缘层之步骤,使形成发光层 之步骤,以及使形成第二电极之步骤。 9.如申请专利范围第8项之有机电场发光装置之制 造方法,其系将绝缘层覆盖第一电极之边缘而形成 。 10.如申请专利范围第5项之耐热性树脂膜之制造方 法,其系用于制造有机电场发光装置。 11.如申请专利范围第5项之耐热性树脂膜之制造方 法,其系用于制造电子零件。 12.一种有机电场发光装置,其系于基板上至少具有 第一电极、绝缘层、发光层及第二电极,而该绝缘 层为使用如申请专利范围第1项之感光性树脂组成 物所形成。 图式简单说明: 第1图为绝缘层为矩形时之断面图。 第2图为绝缘层为顺锥形时之断面图。 第3图为显示利用开缝模型涂布法的涂布步骤之模 式图。 第4图为显示利用加热板法的乾燥步骤之断面图。 第5图为伺服销之示意图。
地址 日本