| 主权项 |
1.一种顺应性装置,包含: 一支承基体; 一浮接基体;以及 复数个挠曲臂,其中每一个均连接于该支承基体和 该浮接基体之间,以平行于该复数个挠曲臂中之其 余挠曲臂的形式在该支承基体和该浮接基体之间 传递一载荷。 2.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该复数 个挠曲臂之一次群组中的每一个挠曲臂都具有一 第一组和一第二组挠曲接点,而以该第一组挠曲接 点使该挠曲臂易于进行绕着一第一轴之旋转运动, 且该第二组挠曲接点系配置成使该挠曲臂易于进 行绕着一第二轴之旋转运动。 3.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该复数 个挠曲臂连接于该支承基体和该浮接基体之间,以 促成在该浮接基体和该支承基体之间,绕着两个交 叉于一点的横向延伸轴之相对旋转运动。 4.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该复数 个挠曲臂系连接于该支承基体和该浮接基体之间, 以促成在该浮接基体和该支承基体之间,绕着两个 交叉于一点的横向延伸轴之相对旋转运动,且绕着 该两个横向延伸轴中之一轴的运动和绕着该两个 横向延伸轴中之另一轴的运动是分开的。 5.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该复数 个挠曲臂连接于该支承基体和该浮接基体之间,以 促成在该浮接基体和该支承基体之间,绕着两个交 叉于一点的横向延伸轴之相对旋转运动,同时使该 支承基体和该浮接基体之间的相对平移运动最小 化。 6.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该复数 个挠曲臂之一次群组中的每一个挠曲臂都具有两 组旋转接点(revolute joints),系配置成便于该挠曲臂 绕着两个横向轴的旋转运动。 7.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该支承 基体、该浮接基体和该复数个挠曲臂是呈一整体 形成。 8.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该复数 个挠曲臂系相连成,使得该支承基体和该浮接基体 之间所传递的所有载荷以平行方式产生。 9.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该浮接 基体包括一孔,且该复数个挠曲臂中每一个挠曲臂 的一端均连接于该浮接基体上,而位于该孔之外。 10.如申请专利范围第1项之顺应性装置,其中该支 承基体包括一通道,且该复数个挠曲臂中每一个挠 曲臂之一第二端均连接于该支承基体上,而位于该 通道之外。 11.如申请专利范围第1项之顺应性装置,进一步包 括一传动系统,系被连接来促成该支承基体和该浮 接基体之间的角运动和平移运动。 图式简单说明: 第1图是依据本发明之一定向平台的爆炸透视图, 揭示一模板夹具和一模板; 第2图是第1图所示的定向平台之透视图; 第3图是依据本发明第一个实施例之包括在第1图 所示的定向平台中之被动式顺应性装置,和模板支 架与模板的爆炸透视图; 第4图是第3图所示的被动式顺应性装置之详细透 视图; 第5图是第4图所示的被动式顺应性装置之侧视图, 揭示被包括在其内的转动接点的细节; 第6图是第4图所示的被动式顺应性装置之侧视图; 第7图是第6图所示的顺应性装置旋转90度的侧视图 ; 第8图是第6图所示的顺应性装置旋转180度的侧视 图; 第9图是第6图所示的顺应性装置旋转270度后之的 侧视图; 第10图是依据本发明之另一个实施例的顺应性装 置之透视图; 第11图是第1图所示的、和基材相重叠的模板之简 化立面图,显示沿一方向上的偏差(misalignment); 第12图是第11图所示的模板和基材之俯视图,显示 沿两个横向上的偏差; 第13图是第11图所示的模板和基材之俯视图,显示 角向偏差(angular misalignment); 第14图是第1图所示的、和基材相重叠的模板之简 化立面图,显示角向偏差; 第15图是第11、12、13和14图中所示的模板和基材之 间所希望的对准之简化立面图; 第16图是第1、3、11、12、13、14和15图中和基材相 重叠的模板的一个实施例之详细图;以及 第17图是第16图所示的模板之详细图,显示相对于 基材所希望的空间配置。 |
