| 主权项 |
1.一种基板收付装置,系由至少2侧面开口之箱状构 造物所构成,将基板暂时地保管在内部,且分别对 从前述2侧面进入之至少2个搬送臂,收付前述基板 之基板收付装置,其特征为: 配备基板载置构件,其具有:支持前述被保管的基 板的中心部之基板支持部;和被配设成不会与前述 2个搬送臂的进入路径交叉,且被接合在前述基板 支持部上之柄部; 该基板载置构件,具有对应前述进入的2个搬送臂 中的前端的形状之闪避部。 2.如申请专利范围第1项所述的基板收付装置,其中 前述基板支持部,呈现圆板形状。 3.如申请专利范围第1项或第2项所述的基板收付装 置,其中前述基板载置构件,吸住前述基板。 4.如申请专利范围第1项或第2项所述的基板收付装 置,其中配备基板偏移检测感测器,其被配设在对 应已经被载置于前述基板载置构件上的基板的外 周部之位置。 5.如申请专利范围第1项或第2项所述的基板收付装 置,其中配备复数个前述基板载置构件。 6.如申请专利范围第1项或第2项所述的基板收付装 置,其中配备用来进行前述基板的定位之基板定位 机构; 前述基板定位机构,关于藉由前述搬送臂所实行的 基板的搬送方向,系被配置成对称,且具有要与在 前述搬送臂上被搬送的基板抵接之2个基板抵接构 件。 7.如申请专利范围第6项所述的基板收付装置,其中 前述基板抵接构件中的与前述被搬送的基板抵接 之抵接部,相对于该基板的表面,从垂直方向来看, 系呈现圆弧状。 8.如申请专利范围第6项所述的基板收付装置,其中 前述基板抵接构件中的与前述被搬送的基板抵接 之抵接部,沿着相对于该基板的表面之垂直方向, 系被形成直线状。 9.如申请专利范围第6项所述的基板收付装置,其中 前述基板定位机构,其数量系被设成与前述基板载 置构件的数量相同。 10.如申请专利范围第6项所述的基板收付装置,其 中设置用来规定基板抵接构件定位治具之相对于 前述基板收付装置之位置之治具用卡合孔;该基板 抵接构件定位治具系用来调整前述基板定位机构 的各基板抵接构件的位置。 11.如申请专利范围第6项所述的基板收付装置,其 中前述基板抵接构件和前述基板载置构件,系以分 离的构件而被构成。 12.如申请专利范围第6项所述的基板收付装置,其 中前述基板抵接构件与前述基板载置构件,关于相 对于前述被搬送的基板的表面之垂直方向,系被配 置成仅隔开规定的距离。 13.如申请专利范围第12项所述的基板收付装置,其 中前述规定的距离为8mm至11mm。 14.一种基板收付方法,系利用由至少2侧面开口之 箱状构造物所构成,将基板暂时地保管在内部,且 分别对从前述2侧面进入之至少2个搬送臂,收付前 述基板之基板收付装置,来进行的基板收付方法, 其特征为具有: 将前述基板搬入前述基板收付装置内之基板搬入 步骤、和 支持前述被搬入的基板的中心部之基板支持步骤 。 15.如申请专利范围第14项所述的基板收付方法,其 中具有: 藉由前述搬送臂来搬送前述被支持的基板之基板 搬送步骤;和 使前述被搬送的基板,抵接在关于该基板的搬送方 向被配置成对称之2个基板抵接构件上之基板抵接 步骤。 16.如申请专利范围第15项所述的基板收付方法,其 中具有: 在前述基板抵接前述基板抵接构件之后,进而使前 述搬送臂移动至规定的位置为止之搬送臂移动步 骤; 在前述搬送臂移动至前述规定的位置之后,吸住前 述基板之基板吸住步骤;和 前述搬送臂,将前述基板,往前述基板的搬送方向 之反方向,仅搬送规定的距离之基板反方向搬送步 骤。 17.如申请专利范围第14项所述的基板收付方法,其 中具有:用来检测前述中心部被支持的基板的外周 部的位置之基板外周部检测步骤。 18.如申请专利范围第14项至第17项中任一项所述的 基板收付方法,其中在前述基板搬入步骤中,前述 搬送臂同时地将复数枚前述基板搬入前述基板收 付装置内。 19.如申请专利范围第14项至第17项中任一项所述的 基板收付方法,其中藉由前述2个搬送臂所实行之 前述基板的搬送方向,系形成直角。 20.一种记忆媒体,系储存了使利用基板收付装置之 基板收付方法在电脑中实行之程式,而电脑可以读 取之记忆媒体;该基板收付装置,系由至少2侧面开 口之箱状构造物所构成,将基板暂时地保管在内部 ,且分别对从前述2侧面进入之至少2个搬送臂,收付 前述基板;其特征为: 前述程式系实行以下步骤: 将前述基板搬入前述基板收付装置内之基板搬入 步骤、和 支持前述被搬入的基板的中心部之基板支持步骤 。 21.如申请专利范围第20项所述的记忆媒体,其中上 述程式系实行以下步骤: 藉由前述搬送臂来搬送前述被支持的基板之基板 搬送步骤;和 使前述被搬送的基板,抵接在关于该基板的搬送方 向被配置成对称之2个基板抵接构件上之基板抵接 步骤。 22.如申请专利范围第21项所述的记忆媒体,其中上 述程式系实行以下步骤: 在前述基板抵接前述基板抵接构件之后,进而使前 述搬送臂移动至规定的位置为止之搬送臂移动步 骤; 在前述搬送臂移动至前述规定的位置之后,吸住前 述基板之基板吸住步骤;和 前述搬送臂,将前述基板,往前述基板的搬送方向 之反方向,仅搬送规定的距离之基板反方向搬送步 骤。 23.如申请专利范围第20项所述的记忆媒体,其中上 述程式系实行以下步骤:用来检测前述中心部被支 持的基板的外周部的位置之基板外周部检测步骤 。 24.如申请专利范围第20项至第23项中任一项所述的 记忆媒体,其中在前述基板搬入步骤中,前述搬送 臂同时地将复数枚前述基板搬入前述基板收付装 置内。 25.如申请专利范围第20项至第23项中任一项所述的 记忆媒体,其中藉由前述2个搬送臂所实行之前述 基板的搬送方向,系形成直角。 图式简单说明: 第1图系表示应用本实施形态的基板收付装置之基 板检查系统的概略构成之方块图。 第2图系为了说明第1图中的探测器与RGV的关系之 图。 第3图系表示第1图中的RGV的概略构成之方块图。 第4图系表示作为有关本实施形态的基板收付装置 之转接单元的外观之斜视图。 第5图系表示第4图的转接单元的概略构成之水平 剖面图。 第6图系作为有关本实施形态的基板收付方法之将 晶圆从RGV的载具,经由转接单元,搬入探测器室内 之晶圆搬入处理的流程图。 第7图系直径为300mm的晶圆定位处理之工程图。 第8图系直径为300mm的晶圆定位处理之工程图。 第9图系直径为200mm的晶圆定位处理之工程图。 第10图系表示习知的转接单元的构略构成之水平 剖面图。 第11图系表示配备习知的定心装置之转接单元的 概略构成之剖面图。 第12图系为了说明习知的修正晶圆的偏移的方法 之图。 第13图系表示配备有用来支持晶圆的外周部之多 级臂之转接单元的概略构成之水平剖面图。 |
