| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Messtechnik und betrifft ein Verfahren, mit dem gleichzeitig mit der Ermittlung der Zusammensetzung durch Sputtern hervorgerufene Höhenunterschiede ermittelt werden können. Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Angabe eines Verfahrens, mit dem mit relativ großer Genauigkeit die Zusammensetzung einer Festkörperprobe in Abhängigkeit von der Tiefe im Sputterbereich ermittelt werden kann. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, bei dem während des Sputterns einer Festkörperprobe aus dem emittierten Licht spektrometrisch die Zusammensetzung und simultan die Höhenunterschiede durch eine Vorrichtung zur Ausnutzung des konfokalen Abbildungsprinzips ermittelt werden. Die Aufgabe wird auch gelöst durch eine Vorrichtung, bestehend aus einer Abbildungsoptik (9), einer Vorrichtung zur Ein- und Auskopplung eines Lichtstrahles (2), einem Eintrittsspalt (3) zum Spektrometer (4), und nebengeordnet aus einer Vorrichtung zur Ausnutzung des konfokalen Abbildungsprinzips (6, 7) und nachfolgend aus einem Spektrometer (8) und einer Lichtquelle (5).
|
