| 摘要 |
Durch Vorsehen eines zusätzlichen Detektorsystems zum Erfassen der eigentlichen Substratposition während des Transfers von und zu einer Ladeschleusestation kann die Zuverlässigkeit der entsprechenden Prozessanlage deutlich verbessert werden. Beispielsweise wird eine unzulässige Position des Substrats während des Transfers von und zu der Ladeschleusestation zuverlässig erkannt, insbesondere, wenn eine Fehlfunktion des Positioniersystems auftritt. Folglich kann eine entsprechende Gegenmaßnahme getroffen werden, etwa das unmittelbare Unterbrechen des Transfervorgangs, wodurch die Gefahr einer Substratschädigung oder eines Bruches verringert wird.
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