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发明名称 Lithographischer Projektionsapparat
摘要
申请公布号 DE60214792(T2) 申请公布日期 2007.10.11
申请号 DE20026014792T 申请日期 2002.06.13
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BUTLER, HANS
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H02P5/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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