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发明名称 Projektionsbelichtungsanlage mit reflektivem Retikel
摘要
申请公布号 DE50112921(D1) 申请公布日期 2007.10.11
申请号 DE20015012921 申请日期 2001.01.10
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 FUERTER, GERD;WAGNER, CHRISTIAN DR.;GOEDECKE, UWE;MUELLER, HENRIETTE
分类号 G02B17/08;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027 主分类号 G02B17/08
代理机构 代理人
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