发明名称 Improvements in or relating to methods of depositing layers from the vapour phase
摘要
申请公布号 GB1033572(A) 申请公布日期 1966.06.22
申请号 GB19630010602 申请日期 1963.03.18
申请人 PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED 发明人
分类号 C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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