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经营范围
发明名称
Chemisch verstärkte, positiv arbeitende Resistzusammensetzung
摘要
申请公布号
DE60032190(T2)
申请公布日期
2007.10.11
申请号
DE2000632190T
申请日期
2000.01.18
申请人
SUMITOMO CHEMICAL CO. LTD.
发明人
UETANI, YASUNORI;INOUE, HIROKI
分类号
G03F7/039;G03F7/004
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
主权项
地址
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