| 发明名称 |
Integrierte Halbleiterschaltung, Verfahren zum Kühlen eines Mikrowellenschaltungsbereiches und Verfahren zum Herstellen einer integrierten Halbleiterschaltung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10132763(B4) |
申请公布日期 |
2007.10.11 |
| 申请号 |
DE2001132763 |
申请日期 |
2001.07.10 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
VOIGTLAENDER, KLAUS;THIEL, MICHAEL |
| 分类号 |
H01L23/38;H01L21/60;H01L27/16;H01L35/22;H01L35/28 |
主分类号 |
H01L23/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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