一种椭偏测量装置

摘要

本发明涉及一种椭偏测量装置，包括入射臂、样品旋转平台、出射臂，所述入射臂包括光源、光束处理组件、起偏器和1/4波片，所述出射臂包括透镜空间滤波组件、检偏器和光电探测器。透镜空间滤波组件在样品旋转平台和检偏器之间，由小孔光栏、透镜和空间滤波器组成。经样品反射的散射光由透镜空间滤波组件选择出平行于出射光轴的平行光。所述光束处理组件由小孔光栏、偏振器和四分之一波片构成。入射臂的光轴和出射臂的光轴相交于样品旋转平台的转动轴，入射臂和出射臂所组成的入射面与样品旋转平台的转动轴垂直；入射臂、出射臂和样品旋转平台可绕该转动轴旋转；本发明可用于大粗糙度非光滑面和曲面样品的测量，有较高的精确度，应用前景广泛。

主权项

1、一种椭偏测量装置，包括入射臂、样品旋转平台(12)、出射臂，所述入射臂包括光源(10)、起偏器(1)、1/4波片(2)，所述出射臂包括检偏器(7)、光电探测器(9)，入射臂的光轴和出射臂的光轴相交于样品旋转平台(12)的转动轴，入射臂和出射臂所组成的入射面与样品旋转平台(12)的转动轴垂直；入射臂、出射臂和样品旋转平台(12)可绕该转动轴旋转，以改变在样品旋转平台(12)上的样品(3)的入射角；其特征在于：所述出射臂还包括透镜空间滤波组件(13)，透镜空间滤波组件(13)在样品旋转平台(12)和检偏器(7)之间，经样品(3)反射的散射光由透镜空间滤波组件(13)选择出平行于出射光轴的平行光，所述透镜空间滤波组件(13)包括小孔光阑(4)、透镜(5)和空间滤波器(6)，并依次按透镜(5)光轴共轴放置，小孔光阑(4)在靠近样品旋转平台(12)一侧，透镜(5)靠近光阑(4)放置，透镜(5)与样品(3)之间距离约等于透镜(5)的焦距，空间滤波器(6)位于透镜(5)后焦平面上。