抛光设备

摘要

抛光设备(1)具有抛光垫(22)、用于夹持半导体晶片(W)的顶环(20)、可操作地沿垂直方向移动顶环(20)的垂直运动机构(24)、当顶环(20)的下表面接触抛光垫(22)时可操作地检测顶环(20)的距离测量传感器(46)、可操作地基于距离测量传感器(46)检测到的位置计算顶环(20)抛光半导体晶片(W)的最佳位置的控制器(47)。垂直运动机构(24)包括可操作地将顶环(20)移动到最佳位置的滚珠丝杆机构(30，32，38，42)。

主权项

1.一种抛光设备，包括：抛光表面；用于夹持衬底的顶环；可操作地沿垂直方向移动所述顶环的垂直运动机构；当所述顶环的下表面或者由所述顶环夹持的衬底的下表面接触所述抛光表面时，可操作地检测所述顶环的位置的位置检测器；和可操作地基于所述位置检测器检测到的位置计算所述顶环的抛光衬底的最佳位置的位置计算器，其中，所述垂直运动机构包括可操作地将所述顶环移动到所述位置计算器所计算出的最佳位置的运动机构。