| 发明名称 | 形成三维物理汽相沉积靶的方法 | ||
| 摘要 | 一种利用热均衡加压形成物理汽相沉积靶的方法。物理汽相沉积靶可以包含铱，钴，钌，钨，钼，钛，铝和钽中的一种或多种；和/或铝化物，硅化物，硅化物和硫族化物中的一种或多种。该方法还包括三维靶，这些靶包括铱，钴，钌，钨，钼，钛，铝和钽中的一种或多种。 | ||
| 申请公布号 | CN101052739A | 申请公布日期 | 2007.10.10 |
| 申请号 | CN200580037737.X | 申请日期 | 2005.11.15 |
| 申请人 | 霍尼韦尔国际公司 | 发明人 | W·易;S·D·斯特洛瑟斯;D·L·莫拉莱斯;R·W·利坎;I·诺兰德 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);B22F3/15(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平 |
| 主权项 | 1.一种形成三维物理汽相沉积靶的方法，它包括：形成一个罐，所述罐的形状基本上与靶的所希望的三维形状互补；将成粉末的材料放置在所述罐内；使罐内的粉末经受热均衡加压，以使所述材料基本上形成物理汽相沉积靶，所述靶基本上具有所希望的三维形状；以及由所述物理汽相沉积靶仅移开所述罐的一部分。 | ||
| 地址 | 美国新泽西州 | ||