测试密封的微机电系统装置中的湿度的系统和方法

摘要

一个实施例提供一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。在一个实施例中，所述装置的所述性质包含以下中的一者：i)所述装置的重量，ii)封围在所述装置中的干燥剂的变色，iii)所述装置内的电阻，iv)所述装置的由指形冷冻器装置接触的内部区域中是否形成霜，v)当将水蒸气提供到所述装置中时，封围在所述装置中的干燥剂是否适当地起作用，和vi)i)到v)中至少两者的组合。

主权项

1.一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。