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发明名称 ION BEAM MILLING SYSTEM AND METHOD FOR ELECTRON MICROSCOPY SPECIMEN PREPARATION
摘要
申请公布号 EP1292819(B1) 申请公布日期 2007.10.10
申请号 EP20010948455 申请日期 2001.06.18
申请人 GATAN, INC. 发明人 ALANI, REZA
分类号 G01N1/28;G01N1/32;H01J37/20;H01J37/305 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
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