测量玻璃基板厚度的设备

摘要

本发明涉及一种厚度测量设备(40)，其接收已经过薄化处理用于平板显示器的叠层玻璃基板(GL)，并在多个检测线(LN1－LN3)测量玻璃基板的厚度。提供了三组位移传感器(Si)，它们垂直于玻璃基板被传送的传送路径在玻璃基板的前和后表面侧排布；第一装置，其基于从位移传感器输出的信号计算每一传感器与玻璃基板(GL)表面之间的间隙(D1，D2)；以及第二装置，其基于在第一装置中计算的值和事先确定的一对传感器的间隙(D0)，计算被传送的玻璃基板的厚度(T)。根据本发明，能够精确测量已薄化的玻璃基板厚度。

主权项

1.一种用于平板显示器的玻璃基板的厚度测量设备，该设备接收已经过薄化处理的玻璃基板，并在多个位置测量玻璃基板的厚度，所述设备包括：多组传感器，它们垂直于玻璃基板被传送的传送路径在玻璃基板的前和后表面侧排布；第一装置，其基于从传感器输出的信号计算每一传感器与玻璃基板表面之间的间隙；以及第二装置，其基于在第一装置中计算的值和事先确定的一对传感器的间隙，计算被传送的玻璃基板的厚度。