发明名称 |
基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置 |
摘要 |
一种基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置,包括一单色发光二极管的面光源,自该单色发光二极管面光源沿光路依次是散射板、第一分光板、标准样板和待检测元件,在所述的第一分光板由标准镜的返回光的反射光路上,依次是第二分光板、物镜和光电探测器,在所述的第二分光板的反射光路上有观察窗口。本实用新型的测量结果既可人工识别,又可通过计算机进行判读。本实用新型装置具有装置轻便、节能、成本低廉、应用广泛、可批量生成等特点,能方便地应用于批量的光学加工过程中的质量控制。 |
申请公布号 |
CN200958977Y |
申请公布日期 |
2007.10.10 |
申请号 |
CN200620046360.6 |
申请日期 |
2006.09.27 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
李永国;朱健强 |
分类号 |
G01M11/00(2006.01);G01M11/02(2006.01);G01N21/88(2006.01);G01B9/02(2006.01) |
主分类号 |
G01M11/00(2006.01) |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
1、一种基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置,其特征在于包括一单色发光二极管的面光源(9),自该单色发光二极管面光源(9)沿光路依次是散射板(10)、第一分光板(11)、标准样板(12)和待测元件(13),在所述的第一分光板(11)白标准样板(12)的返回光的反射光路上,依次是第二分光板(17)、物镜(14)和光电探测器(15),在所述的第二分光板(17)的反射光路上有观察窗口(16)。 |
地址 |
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