石英振子,石英振子组件以及石英振荡器

摘要

本发明的目的在于提供CI值低的音叉型石英振子以及具备了该石英振子的石英振子组件以及石英振荡器。作为具体的解决方法，使用比以往使用的Au(金)比重小且刚性小的硅材料作为使音叉型石英振子发生音叉振动的激励电极(41、51)等的电极配线图案的电极材料。由此，由于石英振子易于振动，所以能够降低将电能转换为音叉振动时的振动损失(CI值)。

主权项

1.一种石英振子，其特征在于，在从基底部伸出两根振动臂部而形成音叉型的石英片的正面和背面两面上，形成有包含激励电极以及引出电极的电极配线图案的石英振子中，所述电极配线图案中至少激励电极由多晶硅或者非晶硅的硅材料组成。