发明名称 |
一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法 |
摘要 |
一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法,它包括步骤,脱油:将初次使用的钢瓶装满丙酮,浸泡24小时,将丙酮抽出钢瓶,用高纯水清洗数次后,使清洗后的水进行测定,电导率必须与高纯水相等;脱水:用酒精加入到钢瓶内进行置换数次,抽出酒精,用高纯氮气吹扫,将钢瓶中的酒精吹光为止;抽真空:将钢瓶抽真空,使真空度低于10Pa;产品置换洗涤:将三氯氢硅产品压入钢瓶灌满封好,放置数日;检验:将钢瓶中三氯氢硅取样进行分析,经过数次产品交换洗涤,直到三氯氢硅达到产品要求为止,继续将装满合格的三氯氢硅的钢瓶放置3个月,再进行取样分析,直到钢瓶中的三氯氢硅达到标准,方可将钢瓶投入正常使用。 |
申请公布号 |
CN101050541A |
申请公布日期 |
2007.10.10 |
申请号 |
CN200710021686.2 |
申请日期 |
2007.04.24 |
申请人 |
南京锗厂有限责任公司 |
发明人 |
赵立奎;黄和明;刘新军;夏建保 |
分类号 |
C23G5/02(2006.01);C23G1/24(2006.01);B08B9/08(2006.01) |
主分类号 |
C23G5/02(2006.01) |
代理机构 |
南京知识律师事务所 |
代理人 |
张苏沛 |
主权项 |
1、一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法,它包括以下步骤:脱油:将初次使用的钢瓶装满丙酮,浸泡24小时,将丙酮抽出钢瓶,用高纯水清洗数次后,使清洗后的水进行测定,电导率必须与高纯水相等;脱水:用酒精加入到钢瓶内进行置换数次,抽出酒精,用高纯氮气吹扫,将钢瓶中的酒精吹光为止;抽真空:将钢瓶抽真空,使真空度低于10Pa;产品置换洗涤:将三氯氢硅产品压入钢瓶灌满封好,放置数日;检验:将钢瓶中三氯氢硅取样进行分析,经过数次产品交换洗涤,直到三氯氢硅达到产品要求为止,继续将装满合格的三氯氢硅的钢瓶放置3个月,再进行取样分析,直到钢瓶中的三氯氢硅达到标准,方可将钢瓶投入正常使用。 |
地址 |
211165江苏省南京市江宁区秣陵镇 |