发明名称 一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法
摘要 一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法,它包括步骤,脱油:将初次使用的钢瓶装满丙酮,浸泡24小时,将丙酮抽出钢瓶,用高纯水清洗数次后,使清洗后的水进行测定,电导率必须与高纯水相等;脱水:用酒精加入到钢瓶内进行置换数次,抽出酒精,用高纯氮气吹扫,将钢瓶中的酒精吹光为止;抽真空:将钢瓶抽真空,使真空度低于10Pa;产品置换洗涤:将三氯氢硅产品压入钢瓶灌满封好,放置数日;检验:将钢瓶中三氯氢硅取样进行分析,经过数次产品交换洗涤,直到三氯氢硅达到产品要求为止,继续将装满合格的三氯氢硅的钢瓶放置3个月,再进行取样分析,直到钢瓶中的三氯氢硅达到标准,方可将钢瓶投入正常使用。
申请公布号 CN101050541A 申请公布日期 2007.10.10
申请号 CN200710021686.2 申请日期 2007.04.24
申请人 南京锗厂有限责任公司 发明人 赵立奎;黄和明;刘新军;夏建保
分类号 C23G5/02(2006.01);C23G1/24(2006.01);B08B9/08(2006.01) 主分类号 C23G5/02(2006.01)
代理机构 南京知识律师事务所 代理人 张苏沛
主权项 1、一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法,它包括以下步骤:脱油:将初次使用的钢瓶装满丙酮,浸泡24小时,将丙酮抽出钢瓶,用高纯水清洗数次后,使清洗后的水进行测定,电导率必须与高纯水相等;脱水:用酒精加入到钢瓶内进行置换数次,抽出酒精,用高纯氮气吹扫,将钢瓶中的酒精吹光为止;抽真空:将钢瓶抽真空,使真空度低于10Pa;产品置换洗涤:将三氯氢硅产品压入钢瓶灌满封好,放置数日;检验:将钢瓶中三氯氢硅取样进行分析,经过数次产品交换洗涤,直到三氯氢硅达到产品要求为止,继续将装满合格的三氯氢硅的钢瓶放置3个月,再进行取样分析,直到钢瓶中的三氯氢硅达到标准,方可将钢瓶投入正常使用。
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