双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器

摘要

本发明提供的是一种双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器。驱动方向键合块通过弹性梁与驱动质量块相连，检测方向键合块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，驱动固定电极键合块上连接驱动固定电极，驱动活动电极连接于驱动质量块上，检测方向键合块上连接检测固定电极，检测活动电极与第二自由度检测质量块相连，第二自由度检测质量块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，在驱动质量块与第一自由度检测质量块之间设置有隔离质量块，隔离质量块的两侧分别通过弹性梁与驱动质量块和第一自由度检测质量块相连。本发明的优点在于传感器耦合误差小、带宽大、灵敏度受环境影响小、易于加工等。

主权项

1、一种双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器，它包括键合在玻璃基片上的驱动方向键合块、驱动固定电极键合块、检测方向键合块和检测固定电极键合块，其特征是：驱动方向键合块通过驱动方向弹性梁与驱动质量块相连，检测方向键合块通过第一自由度检测质量块的弹性梁与第一自由度检测质量块相连，驱动固定电极键合块上连接驱动固定电极，驱动活动电极连接于驱动质量块上，检测方向键合块上连接检测固定电极，检测活动电极与第二自由度检测质量块相连，第二自由度检测质量块通过第二自由度检测质量块的弹性梁与第一自由度检测质量块相连，在驱动质量块与第一自由度检测质量块之间设置有隔离质量块，隔离质量块的两侧分别通过隔离质量块与驱动质量块连接的弹性梁和隔离质量块与检测质量块连接的弹性梁与驱动质量块和第一自由度检测质量块相连。