搬送装置及驱动机构

摘要

被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。

主权项

1、一种被处理基板的搬送装置，其特征在于，具备：可旋转的旋转基台；在所述旋转基台上安装的、可伸屈的第1和第2臂机构，所述第1和第2臂机构各自具备从所述旋转基台侧开始顺序地相互可旋转地连接的基端臂、中间臂和鸟嘴部，所述鸟嘴部按照支持所述被处理基板的方式设置；与所述第1和第2臂机构的所述基端臂连接的连杆机构，以便驱动所述第1和第2臂机构；使所述旋转基台旋转驱动的第1驱动源；使所述连杆机构驱动的第2驱动源，以便使所述第1和第2臂机构伸屈。