| 发明名称 | 感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体以及图案形成装置和图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料及感光性层叠体、图案形成装置、图案形成方法，其中，所述感光性组合物相对于波长400～410nm的曝光光的灵敏度分布大致一定、图案重现性优良、最大地抑制图案形状的偏差、可以在明室环境下处理。因此，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料，其中，所述感光性组合物在支持体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，该感光层在380～420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值，同时，在400nm处可以形成图案的最小曝光量S<SUB>400</SUB>为200mJ/cm<SUP>2</SUP>以下、在410nm处可以形成图案的最小曝光量S<SUB>410</SUB>为200mJ/cm<SUP>2</SUP>以下、且满足0.6＜S<SUB>400</SUB>/S<SUB>410</SUB>＜1.4。 | ||
| 申请公布号 | CN101052918A | 申请公布日期 | 2007.10.10 |
| 申请号 | CN200580030901.4 | 申请日期 | 2005.07.14 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 田代朋子;佐藤守正;佐佐木义晴;若田裕一;高柳丘 |
| 分类号 | G03F7/028(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/029(2006.01);G03F7/031(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/028(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1、一种感光性组合物，其特征在于，其含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂，在380～420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值，同时，在400nm处可以形成图案的最小曝光量S400为300mJ/cm2以下，在410nm处可以形成图案的最小曝光量S410为300mJ/cm2以下，并且，该S400和该S410满足0.6＜S400/S410＜1.6。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||