Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display,申请号KR20060009620-传众专利搜索

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发明名称	Chemical Vapor Deposition Apparatus for Flat Display
摘要
申请公布号	KR100764628(B1)	申请公布日期	2007.10.08
申请号	KR20060009620	申请日期	2006.02.01
申请人		发明人
分类号	H01L21/20;G02F1/13	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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