发明名称 STRUCTURE OF VACUUM CHUCK FOR ADSORBING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100763169(B1) 申请公布日期 2007.10.08
申请号 KR20010059086 申请日期 2001.09.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;B25B11/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址