| 发明名称 |
PROCEDE DE MICRO-LITHOGRAPHIE UTILISANT UN MASQUE A SURFACE COURBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2859797(B1) |
申请公布日期 |
2007.10.05 |
| 申请号 |
FR20030050561 |
申请日期 |
2003.09.17 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
GUIBERT JEAN CHARLES |
| 分类号 |
G03F1/00;B29C59/04;G03F1/14;G03F7/00;G03F7/24 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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