发明名称 Composition for Forming Intermediate Layer Containing Silylphenylene-Based Polymer and Pattern-Forming Method
摘要
申请公布号 KR100763828(B1) 申请公布日期 2007.10.05
申请号 KR20060043809 申请日期 2006.05.16
申请人 发明人
分类号 C08L83/04;B05D7/24;C08G61/12;C08G77/60;C08K5/10;C08L83/00;C08L83/16;C09D183/16;G03F7/11;H01L21/027 主分类号 C08L83/04
代理机构 代理人
主权项
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