| 发明名称 |
APPAREIL POUR LE DEPOT PECVD D'UNE COUCHE BARRIERE INTERNE SUR UN RECIPIENT, COMPRENANT UN DISPOSITIF D'ANALYSE OPTIQUE DU PLASMA |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2888587(B1) |
申请公布日期 |
2007.10.05 |
| 申请号 |
FR20050007555 |
申请日期 |
2005.07.13 |
| 申请人 |
SIDEL SOCIETE PAR ACTIONS SIMPLIFIEE |
发明人 |
RIUS JEAN MICHEL;FEUILLOLEY GUY |
| 分类号 |
C23C16/52;B05D7/22;C23C16/513 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
