摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Verdampferquelle zum Erzeugen einer Gasphase, die zumindest ein Alkalimetall und/oder Erdalkalimetall aufweist oder aus diesem besteht, sowie eine Vorrichtung, welche eine derartige Verdampferquelle umfasst. Damit eine derartige Verdampferquelle im Hochvakuum erst bei Temperaturen über 200 °C Alkalimetalle bzw. Erdalkalimetalle abgibt, ist gemäß der Erfindung vorgeschlagen, dass die Verdampferquelle eine Legierung aus Bismut und zumindest einem Alkalimetall und/oder zumindest einem Erdalkalimetall enthält.</p> |
申请人 |
ALVATEC ALKALI VACUUM TECHNOLOGIES GMBH;OGRIS, ERHARD;SCHEBESTA, SEBASTIAN;GROSSINGER, ARTUR;DENGG, FLORIAN |
发明人 |
OGRIS, ERHARD;SCHEBESTA, SEBASTIAN;GROSSINGER, ARTUR;DENGG, FLORIAN |