发明名称 ALKALI METAL OR EARTH ALKALI METAL VAPORISING SOURCE
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Verdampferquelle zum Erzeugen einer Gasphase, die zumindest ein Alkalimetall und/oder Erdalkalimetall aufweist oder aus diesem besteht, sowie eine Vorrichtung, welche eine derartige Verdampferquelle umfasst. Damit eine derartige Verdampferquelle im Hochvakuum erst bei Temperaturen über 200 °C Alkalimetalle bzw. Erdalkalimetalle abgibt, ist gemäß der Erfindung vorgeschlagen, dass die Verdampferquelle eine Legierung aus Bismut und zumindest einem Alkalimetall und/oder zumindest einem Erdalkalimetall enthält.</p>
申请公布号 WO2007109815(A1) 申请公布日期 2007.10.04
申请号 WO2007AT00118 申请日期 2007.03.09
申请人 ALVATEC ALKALI VACUUM TECHNOLOGIES GMBH;OGRIS, ERHARD;SCHEBESTA, SEBASTIAN;GROSSINGER, ARTUR;DENGG, FLORIAN 发明人 OGRIS, ERHARD;SCHEBESTA, SEBASTIAN;GROSSINGER, ARTUR;DENGG, FLORIAN
分类号 C23C14/24;C22C12/00 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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