发明名称 DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING THE HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR100763681(B1) 申请公布日期 2007.10.04
申请号 KR20050132759 申请日期 2005.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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