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发明名称 DEFECT INSPECTING APPARATUS AND DEFECT INSPECTING METHOD
摘要
申请公布号 CA2647004(A1) 申请公布日期 2007.10.04
申请号 CA20062647004 申请日期 2006.03.24
申请人 IHI CORPORATION 发明人 TAGAMI, MINORU;IDO, NOBUKAZU;HATANAKA, HIROAKI
分类号 G01N29/44 主分类号 G01N29/44
代理机构 代理人
主权项
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