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发明名称
Als Negativlack wirkende - chemisch verstärkte - Fotolack-Zusammensetzung
摘要
申请公布号
DE60125539(T2)
申请公布日期
2007.10.04
申请号
DE2001625539T
申请日期
2001.05.22
申请人
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP.
发明人
XU, PINGYONG;LU, PING-HUNG;DAMMEL, R.
分类号
G03F7/038;G03F7/004;H01L21/027
主分类号
G03F7/038
代理机构
代理人
主权项
地址
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