| 发明名称 | 基板传送装置、基板处理装置和基板处理方法 | ||
| 摘要 | 一种能够限制颗粒产生的基板传送装置。该基板传送装置(1)包括容纳晶片(W)的处理腔(12)、用于将晶片传送到处理腔中的传送臂(17)，和置于处理腔中并安装传送晶片的基座(45)。带有多个突起(55a)的静电夹盘(55)置于基座的上部内。带有多个用于保持晶片的突起(25a)的传送叉(25)置于传送臂的末端上。这些突起(25a)设置在传送叉(25)中以使突起(25a)的晶片保持部(81)与静电夹盘的突起(55a)的晶片保持部分(80)不同。 | ||
| 申请公布号 | CN101047140A | 申请公布日期 | 2007.10.03 |
| 申请号 | CN200710091343.3 | 申请日期 | 2007.03.30 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社;株式会社东芝 | 发明人 | 小林义之;酒井伊都子;大岩德久 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);H01L21/683(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种基板传送装置，用于将所处理基板传送到台上，所述台设置于处理腔中并具有适于保持所处理基板的第一保持器，所述基板传送装置包括：第二保持器，其适于保持所处理基板上的与由所述台的所述第一保持器保持的所处理基板的部分不同的部分。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||