发明名称 SEMICONDUCTOR PHOTODIODE AND METHOD OF MAKING
摘要
申请公布号 EP1839343(A1) 申请公布日期 2007.10.03
申请号 EP20060701208 申请日期 2006.01.10
申请人 ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE EPFL - STI - IMM - LMIS3 发明人 POPOVIC, RADIVOJE;XIAO, ZHEN
分类号 H01L31/101;H01L27/146 主分类号 H01L31/101
代理机构 代理人
主权项
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