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发明名称
摘要
申请公布号	JP3985661(B2)	申请公布日期	2007.10.03
申请号	JP20020327906	申请日期	2002.11.12
申请人		发明人
分类号	C23C24/04;H01L21/31;H01G4/12;H01L21/316	主分类号	C23C24/04
代理机构		代理人
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