| 摘要 |
<p>En mikro-elektro-mekanisk variabel kondensatorinnretning som innbefatter et første substrat (24), en første kontakt (34) lagt over en første overflate på substratet, en piezoelektrisk aktuator (16) lagt over den første overflaten på substratet, en andre kontakt (18) koplet til aktuatoren og lagt i umiddelbar nærhet til den første kontakten, en gapstyringsmekanisme lagt mellom substratet og aktuatoren for å begrense bevegelse av den første kontakten relativt til den andre kontakten. I den eksempelvise utførelsesformen er gapstyringsmekanismen en gapstyringsstopp (37) dannet av dielektrisk materiale. I praksis anvendes et flertall av stopp. I den eksempelvise utførelsesformen anvendes et flertall av termosoniske båndinger (25) til å kople aktuatoren til det første substratet. Et andre substrat (14) er lagt over den piezoelektriske aktuatoren. Det andre substratet har brønner (15, 17) over båndingene for å lette anvendelse av et båndverktøy (19) til båndingene. Gapstyringsmekanismen tilveiebringer konsistent høydestyring mellom en invers brikke og dens basesubstrat uten å utsette sammenstillingen for høye temperaturer.</p> |
