具有微纹的磁头及其制造方法

摘要

一种在磁头的空气承载面上形成微纹的方法，包括如下步骤：将多个磁头阵列排列在托盘中，每个磁头包括一个向上的极尖；把托盘装入处理室中，并在处理室内形成具有预定压力的真空；将惰性气体与碳氢化合物气体的混合气体导入处理室中，并将混合气体离子化而形成离子束；将磁头暴露于离子束中，通过离子束蚀刻而在磁头空气承载面上蚀刻出具有两阶结构的微纹。本发明同时揭露了一种具有微纹的磁头的制造方法。

主权项

1.一种在磁头的空气承载面上形成微纹(micro-texture)的方法，包括如下步骤：(1)将多个磁头阵列排列在托盘中，每个磁头包括一个向上的极尖(pole tip)；(2)把托盘装入处理室中，并在处理室内形成具有预定压力的真空；(3)将惰性气体与碳氢化合物气体的混合气体导入处理室中，并将混合气体离子化而形成离子束；及(4)将磁头暴露于离子束中，通过离子束蚀刻而在磁头空气承载面上蚀刻出具有两阶结构的微纹。