激光振荡器

摘要

本发明提供的激光振荡器，即使反射镜保持部的、与反射镜接触的面的加工精度不高，也能将反射镜的变形量控制在容许范围内地安装反射镜。备有：反射激光的圆形反射镜(1)、保持反射镜的保持座(2)、从反射面一侧将反射镜(1)推压固定在保持座(2)上的弹性部件即螺旋弹簧(16)。螺旋弹簧(16)，用根据反射镜(1)的质量、厚度、半径、纵弹性率、反射镜(1)与保持座(2)间的摩擦系数、激光波长及重力加速度的公式导出的推压力(F)，推压反射镜(1)。

主权项

1.激光振荡器，其特征在于，备有：反射激光的圆形反射镜；保持上述反射镜的反射镜保持部；及从反射面一侧将上述反射镜推压固定在上述反射镜保持部上的弹性部件；上述弹性部件，用满足公式(1)的推压力F，推压上述反射镜，公式1$\frac{M\times a}{\mu }\le F\le \frac{E\times t^3\times \lambda }{20\times r^2}$ 式中，F：推压力〔N〕M：反射镜的质量〔Kg〕a：加速度〔m/s2〕μ：摩擦系数E：反射镜的纵弹性率〔Pa〕t：反射镜的厚度〔m〕r：反射镜的半径〔m〕λ：激光的波长〔m〕。